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廢氣脫硫處理設備的是由氨水加壓泵組，稀釋水加壓泵組，稀釋水與氨水混合閥組 ，上層稀氨水分配閥組，下層稀氨水分配閥組，噴霧系統，儲罐及卸氨系統，壓縮空氣系統 ，儀表、電氣控制系統，罐區廠房組成的。該技術一般采用爐內噴氨、尿素或氫氨酸作為還原劑還原。
由于該工藝不用催化劑，因此必須在高溫區加入還原劑。還原劑噴入爐膛溫度為 850 ~ 1100℃ 的區域，迅速熱分解成 NH3，與煙氣中的NOx反應生成N2和水。
總的來說就是接收和儲存還原劑;在鍋爐合適位置注入稀釋后的還原劑; 還原劑的計量輸出、與水混合稀釋;還原劑與煙氣混合進行脫硝反應。
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